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NewWay公司“非觸摸式多孔空氣軸承”獲專利

知識來源：中國軸承網發布時間:2019-05-03 訪問:1970次

作為世界上最大的多孔介質空氣軸承產物獨立制造商；NewWay空氣軸承公司日前宣告其非觸摸式多孔空氣軸承和鏡片修平設備現已取得美國專利號為7,908,885-B2的授權.
鏡片厚度的改變差錯已成為更高一級光刻解決計劃進行更明晰展現的限制性要素；因此；這種新方法能夠下降東西的需求并供給更高的光刻計劃.
NewWay空氣軸承公司運用其空氣軸承技能將氣壓均勻分布于不計其數個空氣管外表；以此承載上千公斤的載荷.一起；真空孔和溝槽組件可供給幾十公斤的氣壓；這足以將玻璃修平來反抗氣體膜；并將之置于安全部位.這樣；跟著非觸摸式精細區構成；最為平坦的鏡片外表也加工完結.
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